电子扫描镜(电子扫描显微镜)与扫描电镜(扫描电子显微镜)都是使用电子束扫描样品以获取样品表面微观结构的高倍率成像仪器。以下是它们的基本原理及相关介绍。
1、电子扫描镜(电子扫描显微镜)原理:
* 电子扫描显微镜是利用电子束扫描样品表面,通过检测器接收样品发射的次级电子等信号,从而获取样品表面的微观结构信息。
* 电子枪发射的电子束经聚焦后,以一定的能量和角度射向样品,与样品相互作用产生各种物理信号,如次级电子、反射电子、透射电子等,这些信号被探测器接收并转换为电信号,再经过处理在显示屏上形成样品的微观结构图像。
* 电子扫描显微镜的分辨率较高,可以观察到普通光学显微镜无法观察到的细节。
2、扫描电镜原理:
* 扫描电镜利用电子束在样品表面进行光栅状扫描,通过检测样品发射的次级电子等信号,得到样品表面的高分辨率图像。
* 电子束以光栅状扫描方式作用于样品表面,逐点产生信号,这些信号被检测器收集并转换为电信号,再经过处理在显示屏上形成样品的放大图像。
* 扫描电镜具有高的放大倍数和分辨率,可以观察到样品的表面微观结构、纹理、成分等信息。
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